一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件；

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌；

3、檢查外罩；

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管；

5、檢查氣體過濾機構(gòu)，并對之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)；

6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動平衡機構(gòu)；

7、檢查和清洗氣浮軸承；

8、檢查調(diào)整電氣和機械行程開關(guān)；

9、檢查和調(diào)整傳動機構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)；

10、檢查和調(diào)整測量機水平；

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行；

12、最好用激光干涉儀檢測和補償測量機各軸誤差。

（來源：測量俱樂部）